半导体气体传感器通常以SnO₂、WO₃等金属氧化物为敏感材料，在加热状态下（工作温度200~400℃）与甲醛气体接触时发生氧化还原反应，导致敏感层电导率发生变化。当甲醛分子吸附到传感器表面，会与材料表面的吸附氧（O₂⁻、O⁻）反应，释放电子回到导带，使半导体电阻下降。电阻变化量与甲醛浓度呈对数关系。半导体传感器的优点是成本低、体积小、适合集成化设计，广泛用于家用甲醛检测仪中。但其选择性较差，对乙醇、氢气、甲烷等气体也有响应，且受温湿度影响大，精度通常在±30%~50%范围内。
半导体传感器的技术在不断进步，新型纳米结构敏感材料（如石墨烯掺杂WO₃、In₂O₃纳米线等）在选择性方面有显著提升。目前已有科研团队报道In₂O₃纳米线传感器对甲醛的响应选择性达到乙醇的5倍以上。但实验室成果转化为成熟产品仍需时间。目前市场上半导体甲醛检测仪的精度和稳定性仍低于电化学传感器。建议消费者根据使用需求选择合适原理的检测仪。
