UV光催化氧化（UV-PCO）采用短波紫外线（UVC，185nm和254nm）照射TiO₂催化材料产生·OH和O₃等活性物种。185nm UV可断裂O₂分子键，产生氧原子（O·），进一步生成O₃；254nm UV可被TiO₂吸收产生电子-空穴对。UVC（185+254nm）联合作用时，甲醛去除效率高于单一波长。实验数据：在风速0.5m/s、UVC功率15W条件下，对0.5mg/m³甲醛的去除率在30分钟内达88%-94%。但UVC对人体有害（引起皮肤红斑和角膜损伤），需严格密封在设备内，不能直接照射人体。设备带有的臭氧催化分解滤网可将O₃浓度控制在0.05mg/m³以下。UV灯管使用寿命约8000-10000小时。
