低温等离子体降解甲醛的反应路径分三步：1）高能电子直接碰撞甲醛分子（电子能量5-10eV），使其分解为HCO·和H·自由基；2）活性物种（·OH、O·、O₃）与甲醛发生氧化反应，·OH+HCHO→HCO·+H₂O的反应速率常数高达1.0×10⁹M⁻¹·s⁻¹；3）中间产物HCOOH继续被氧化为CO₂和H₂O。清华大学环境学院测试表明：DBD低温等离子体反应器在输入功率30W、气体流速1m/s条件下，对1.0mg/m³甲醛的去除率达85%-92%。但臭氧副产物浓度约0.3-0.8mg/m³，需配合后置催化剂（如MnO₂）将臭氧分解处理。处理后残余臭氧可控制在0.05mg/m³以下。
