低温等离子体（Non-thermal Plasma, NTP）是指电子温度（约1-10eV，相当于10⁴-10⁵K）远高于气体温度（接近室温）的等离子体状态。电子在高电场下加速，与气体分子碰撞产生高能电子、激发态分子、自由基和离子。介质阻挡放电（DBD）和电晕放电是常用的产生方式。DBD采用1-100kHz交流电源，放电间隙1-5mm，电子密度10¹⁴-10¹⁵cm⁻³。在空气中放电时，高能电子与O₂和H₂O分子碰撞产生O·（氧原子自由基）、·OH（羟基自由基）和O₃（臭氧）等活性物种，其中·OH氧化电位（+2.80V）仅次于F₂（+2.87V），可氧化甲醛为CO₂和H₂O。DBD系统能耗约10-50W/m³空气。
