臭氧（O₃）是一种强氧化剂，其氧化还原电位高达2.07V，能够与甲醛（HCHO）发生氧化反应，将其分解为CO₂、H₂O和O₂。化学反应式为：2HCHO + 2O₃ → 2CO₂ + 2H₂O + O₂。但臭氧除甲醛存在严重的安全与应用局限。首先，臭氧对人体有害，当空气中臭氧浓度超过0.16mg/m³时会引起呼吸道刺激、胸闷、咳嗽等症状，WHO建议臭氧1小时暴露限值为0.1mg/m³。而有效除甲醛需要的臭氧浓度高达20-50ppm（约40-100mg/m³），远高于安全阈值，因此施工时必须清空人员，且施工后需充分通风2小时以上才能进入。其次，臭氧会加速橡胶、电子产品、织物等材料的氧化老化，造成物品褪色、开裂。鉴于安全问题，清云阳光不推荐臭氧法作为常规治理手段，仅在特殊工业场景下有限使用。
