低温等离子体技术是清云阳光治理技术体系中的重要组成部分，其基本原理是在常温常压下通过高压电场（电压约5-15kV）使气体放电，产生大量高能电子（能量1-20eV）。这些高能电子与空气分子（O₂、N₂、H₂O）发生碰撞，激发产生臭氧（O₃）、羟基自由基（·OH）、氧原子（O）、氮氧化物等活性粒子，这些活性粒子能够快速氧化分解甲醛等有机污染物。
清云阳光自主研发的低温等离子体协同催化反应器，将等离子体技术与催化技术耦合使用，显著提升了净化效率。该反应器采用介质阻挡放电（DBD）结构，放电间隙2-4mm，内置自研的MnOx/CeO₂复合催化剂。等离子体放电产生的臭氧在催化剂表面上分解为具有更强氧化能力的活性氧物种，同时催化剂的表面吸附作用延长了污染物的停留时间，使得甲醛的降解效率从单等离子体的65%提升至98%以上。经过实验室测试，在初始甲醛浓度1.0mg/m³、风速1m/s的条件下，单次通过的甲醛去除率达到97.3%，且几乎不产生臭氧残留（出口臭氧浓度低于0.02ppm，远低于国家标准0.16mg/m³）。
低温等离子体技术的优势在于：反应条件温和（常温常压），无需添加化学药剂；处理效率高，对多种污染物（甲醛、苯系物、TVOC、细菌病毒）均有良好去除效果；能耗较低，处理100m³空间的能耗约50W/h。该技术特别适用于公共场所（如办公室、学校、医院）的持续空气净化，以及企业工厂的挥发性有机物（VOCs）排放治理。清云阳光已将该技术集成到移动式空气净化设备和中央空调净化模块中，可实现无人值守的持续空气净化。